據(jù)臺灣媒體7月30日報道稱，臺積電的南科18a廠，29日夜間傳出生產(chǎn)工序出現(xiàn)問題，一部分生產(chǎn)線已經(jīng)停止運行，30日早上，供貨商被擋于園區(qū)外，無法進入園區(qū)。

而有供應商透露，此次問題的原因是氧氣供應受到污染，有有關人員認為，半導體材料生產(chǎn)工序大約有270道工序需用到氧氣，基本上全是關鍵工序；更何況18a廠解決的全是現(xiàn)階段臺積電最先進的5納米核心工序，此時產(chǎn)生氧氣環(huán)境污染，也許是直中臺積電重要，但預估臺積電會全力以赴清除有關難題，盡早讓生產(chǎn)線修復。

但接著臺積電就這事做出回復，表明絕無此事，僅僅有一部分來自生產(chǎn)商供應的汽體疑是受到了污染，已及時調(diào)用別的汽體進行供應，對生產(chǎn)線未導致顯著危害，產(chǎn)線仍處于正常生產(chǎn)。